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當前位置:首頁產品中心電力通訊·電阻系列DL10-KDY-1數字式四探針測試儀 方阻測試儀 方阻檢測儀

數字式四探針測試儀 方阻測試儀 方阻檢測儀
產品簡介:

KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。

產品型號:DL10-KDY-1

更新時間:2024-05-19

廠商性質:生產廠家

訪問量:1344

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數字式四探針測試儀 方阻測試儀 方阻檢測儀

型號: DL10-KDY-1

KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。

本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些薄層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.10.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器或KDY測量系統,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,給測量帶來很大方便。

主機技術能數

1)測量范圍:

可測電阻率:0.000119000Ω·cm

可測方塊電阻:0.001190000Ω·□

2)恒流源:

輸出電流:DC 0.001100mA 五檔連續可調

量程:0.0010.01mA 0.010.10mA

0.101.0mA 1.010mA 10100mA

恒流精度:各檔均低于±0.05%

3)直流數字電壓表:

測量范圍:0199.99mV

靈敏度:10μV

基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)

輸入阻抗:≥1000MΩ

4)測量精度:電器精度:11000歐姆≤0.3%

整機測量精度:11000歐姆·厘米≤3%

5)供電電源:

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W

6)使用環境:溫度:23±2 相對濕度:≤65%

無較強的電場干擾,電源隔離濾波,無強光直接照射

7)重量、體積:

主機重量:7.5kg

體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)

 

 

北京北信未來電子科技中心

:      

:王華

:

:www.lcs168.com

 

 

 

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